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【2013年】第【10】期期刊目次
 

     

 

   

           WEINADIANZI JISHU

        (原半导体情报)

        月刊·1964年创刊

   50卷第10期(总第437期)

      20131015日出版

       刊名题词  白春礼

 

器件与技术

GaN基光栅外腔半导体激光器研究进展

姚真瑜,吕雪芹,张保平609

 

材料与结构

Si/SiO2界面的原子结构模型

杜龙欢,荣丽梅,杜江峰,等615

 

MEMS与传感器

高隔离度阶跃结构MEMS开关的设计

凌 源,鲍景富,李昕熠623

基于MEMS高阻硅基底的 X波段微带天线

洪 泉,刘晓明,陈焕辉,等629

 

加工、测量与设备

基于数控雕刻机的微流控芯片制作方法

张晓龙,高宏伟,焦念东,635

化学刻蚀硅中电荷转移和纳米结构的形成

樊书晓,端木庆铎,宁智超639

反面水浴斜曝光法制作三维微透镜阵列

吴淑娟,张斌珍,王 伟,646

阻挡层CMP中铜损失的问题

王伟超,王胜利,刘玉岭,652

多重图形技术的研究进展

洪中山,吴汉明656

飞秒四光束干涉技术加工石墨烯纳米网

李 艳,陈 辉,代克杰662

TSV阻挡层碱性抛光液对Ti/Cu去除速率的影响

马锁辉,王胜利,刘玉岭,667

PVT法生长ZnTe晶体的技术

李 晖,徐永宽,程红娟,671

 

国际视点

技术675