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【2013年】第【08】期期刊目次
 

WEINADIANZI JISHU
(原半导体情报)
月刊•1964年创刊
第50卷第8期(总第435期)
2013年8月15日出版
刊名题词  白春礼
2013(第六届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会成功召开(473)
器件与技术
石墨烯纳米带场效应管结构优化                       
赵  磊,赵柏衡,常  胜,等(474)
材料与结构
在DNA网络模板上原位合成金纳米颗粒                  
杨  涛,杨  超,童  洲(479)
MEMS与传感器
窄带FBAR带通滤波器设计                             
周  斌,高  杨,何  移,等(487)
MEMS薄膜塞贝克系数的测试结构研究进展                张晓强,李伟华,周再发(494)
一种集成式硅MEMS振动陀螺仪                         
李  博,杨拥军,徐永青,等(501)
加工、测量与设备
AlN压电薄膜的制备工艺                              
陈颖慧,王旭光,席仕伟,等(506)
微流体系统中微通道制作工艺的研究进展                  
张高朋,田桂中,曹伟龙(512)
一种获得纳米间隙电极的接触光刻方法                    
张玉龙,张  艳,蒋书森(518)
TSV硅衬底CMP后表面微粗糙度分析与优化              
杨昊鹍,刘玉岭,王辰伟,等(523)
用于自对准Si MMIC的等平面深槽隔离工艺              
苏延芬,梁东升,胡顺欣,等(528)
一种真空度可调的圆片级封装技术                           罗  蓉(534)
国际视点
技术、产品和市场(538)