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【2013年】第【03】期期刊目次
 

   WEINADIANZI JISHU
       (原半导体情报)
       月刊·1964年创刊
 第50卷第03期(总第430期)
    2013年03月15日出版
        刊名题词  白春礼

器件与技术
硅基单电子晶体管的可控制备
吕 利,孙建东,李欣幸,等(133)
多晶硅薄膜太阳电池
何海洋,陈诺夫,李 宁,等(137)

材料与结构
面向新型DNA检测方法的固态纳米孔研究进展
陈 剑,邓 涛,吴次南,等(143)
稀土材料铕铁硼磁性隧道结的第一性原理研究
黄沈杰,刘宇扬,胥海波,等(151)

MEMS与传感器
微型电磁振动能量采集器的研究进展
苏宇锋,段智勇(156)
后退火处理对电容式MEMS微加速度计的影响
唐 彬,陈颖慧,彭 勃,等(167)
微惯性开关L型闭锁梁分析
程建建,聂伟荣,席占稳,等(172)

加工、测量与设备
深槽刻蚀工艺中lag效应的研究
宋运康,滕 霖,熊 恒(177)
化学机械抛光中材料去除非均匀性及因子分析
杜诗文,宋建军,蒋名国,等(184)
XPS测量稀土氧化物薄膜禁带宽度的可行性研究
许菲菲,胡 琴,杨百良(190)
共烧温度对Pt/YSZ泵氧电极性能的影响
雷 超,李向东,周丽红,等(194)


第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知(第一轮)(199)
第七届中国半导体行业协会半导体分立器件分会年会通知(第一轮)(200)