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【2013年】第【02】期期刊目次
 

            WEINADIANZI JISHU
                (原半导体情报)
               月刊•1964年创刊
         第50卷第2期(总第429期)
             2013年2月15日出版
                刊名题词  白春礼

器件与技术
HEMT太赫兹探测器响应度和NEP的检测与分析
杨昕昕,孙建东,秦 华(69)
分段圆型碳纳米管阴极结构的三极FED制作
李玉魁,李晓荃,曾凡光(74)
S波段大功率、高效率GaN HEMT器件研究
刘 桢, 吴洪江, 斛彦生, 等(78)

材料与结构
单层硫化钼的研究进展
顾伟霞,马锡英(81)
衬底负偏压及溅射功率对SiO2/Cu薄膜形貌的影响
田小丽,张敏刚,陈峰华(86)
周期层数及入射角对一维光子晶体带隙的影响
蔡允高,董盈红,王孝民(90)

MEMS与传感器
减小交叉耦合的三维微加速度计的设计
陈颖慧,唐 彬,施志贵,等(95)
基于电共轭液的人工肌肉及微手指研究
朱 平,薛晨阳(100)

加工、测量与设备
电子束零宽度线曝光及其应用
赵 珉,刘桂英,陈宝钦,等(106)
CMP浆料SiO2水溶胶纯化稳定性技术的研究
张 超,刘玉岭,甘小伟(112)
用于3D封装的带TSV的超薄芯片新型制作方法
袁娇娇,吕植成,汪学方,等(118)
Pd-Ru/C催化剂的制备及其甲酸氧化活性研究
罗远来,庞道标,蔡伟凯,等(124)