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【2012年】第【12】期期刊目次
 

                WEINADIANZI JISHU

(原半导体情报)

月刊·1964年创刊

49卷第12期(总第427期)

20121215日出版

刊名题词  白春礼

技术论坛

核磁共振微陀螺的现状与发展

李 攀,刘元正,王继良(769

 

器件与技术

金属栅/kFinFET研究进展

李 越,黄安平,郑晓虎,775

 

材料与结构

单晶硅表面STM成像理论模型与实验分析

张华丽,张飞虎(781

C3分子线在激光场中的含时密度泛函理论研究

王志萍,吴寿煜,张秀梅,786

 

MEMS与传感器

高灵敏度宽频带阵列式仿生矢量水听器研究

宋小鹏,薛晨阳,张国军790

Z轴完全差分电容式加速度传感器设计分析

许高斌,韩成成,陈 兴796

非硅MEMS惯性开关可靠性研究

刘加凯,齐杏林802

 

加工、测量与设备

智能测试磁性液体表面张力系数的实验研究

吴继荣,李晓琦,安 宏807

低能电子束光刻过程的Monte Carlo模拟分析研究

吴鹏,潘江涌,周再发812

微腐蚀去除硅衬底表面损伤及污染物的研究 

田巧伟檀柏梅高宝红820

硅探测器加工中的离子注入工艺设计与控制

唐海林,罗剑波,张 莉824

多层铜布线表面CMP后颗粒去除研究

杨飞,檀柏梅,高宝红829