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【2012年】第【11】期期刊目次
 

                WEINADIANZI JISHU

                   (原半导体情报)

                     月刊·1964年创刊

      49卷第11期(总第426期)

                   20121115日出版

          刊名题词  白春礼

技术论坛

原子层沉积技术研究及其应用进展 

           仇洪波,刘邦武,夏 洋,等(701                      

器件与技术

加法器的QCA设计与研究进展

               汪 慧,解光军,黄文龙709

GaNHFET电力电子器件的研究

           贾利芳,樊中朝,颜 伟716

材料与结构

CuSnFe共掺杂对ZnO晶体形貌和磁性的影响

           刘 超,刘继文,贾利云,等726

新型高BNTC热敏材料的制备及其性能研究

           张 璐,康雪雅,窦俊青,等(732             

MEMS与传感器

数值分析电诱导流变成型外部因素的影响

          田洪淼,邵金友,丁玉成,等(736                

MEMS加速度计误差的高精度标定方法

          王小春李荣冰杭义军,等(743

MEMS陀螺中带孔结构空气阻尼建模分析 

           李锡广,李孟委,王 莉,等(749

加工、测量与设备

碱性抛光液对铜与钽CMP选择比的影响 

           黄汀鹤刘玉岭胡 轶,等755

退火温度对Mn-Co-Ni-ONTC薄膜阻温特性的影响 

          李章恒,杨传仁,张继华,等762

国际视点 

市 场                               (767)  

全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻分技术

委员会全体大会2012年技术研讨会圆满闭幕768