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【2012年】第【05】期期刊目次
 

            WEINADIANZI JISHU

               (原半导体情报)

                月刊·1964年创刊

     49卷第5期(总第420期)

               2012515日出版

        刊名题词  白春礼

 

技术论坛

昆虫微机电混合系统发展现状及其关键技术  

            冯清娟,胡开博,朱智源285                

                                                   

 

器件与技术

有机场效应晶体管最新实验研究进展                    

         谢吉鹏马朝柱杨 汀,等291

 

材料与结构

单轴应力下热氧化SiO2的介电电致伸缩系数研究           

         董维杰陈小卫崔 岩,等302

染料敏化TiO2单晶纳米棒阵列太阳电池的性能 

                     王 波,顾修全306

                   

MEMS与传感器

基于杠杆的微机械陀螺结构设计与仿真                

        李小卿常洪龙焦文龙,等(313

MEMS 谐振器的并联电容噪声抑制                          

              唐 梦,冯 明,程新红(318

 

加工、测量与设备

聚酰亚胺微刻蚀加工工艺研究                          

        董拴成苑伟政马炳和,等323

侧墙技术在相变存储器中的应用                       

        付英春王晓峰,等328

纳秒激光电化学复合掩模的微细加工                    

        王耀民,张朝阳,李中洋,等336

Cu CMP过程中背压对膜厚一致性影响                    

            串利伟,刘玉岭王辰伟(340

圆片级真空封装技术在MEMS陀螺中的应用

                     杨 静,张富强345

                                            

                    

国际视点

技术、产品和市场                  (350

                                                                

《微纳电子技术》编辑部网站已开通(317

《微纳电子技术》再次入选中文核心期刊(322

第五届中国微纳电子技术交流与学术研讨会即

将召开(335