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【2011年】第【10】期期刊目次
 

                WEINADIANZI JISHU
                 (原半导体情报)
                月刊·1964年创刊
            第48卷第10期(总第413期)
               2011年10月15日出版
                刊名题词  白春礼

技术论坛
纳米电子技术的发展与展望                       
            刘长利,沈雪石,张学骜,等(617)

器件与技术
功率VDMOS器件的研究与发展                     
            杨法明,杨发顺,张锗源,等(623)

材料与结构
分子与离子的电子及光谱特性分析比较       
            王志萍,张秀梅,刘慧娟,等(630)
共振声子THz QCL有源区结构设计                  
             牛晨亮,王 健,王建峰,等(634)

MEMS与传感器
MEMS微型气相色谱分离柱结构的研究进展           
              王 力,杜晓松,胡 佳,等(639)
非线性及粒子空间效应对交流电渗流泵的影响      
                  陈 波,晁 侃,吴健康(648)
五位分布式MEMS传输线移相器的优化设计           
              高 杨,贾小慧,秦 燃,等(655)
O型MEMS平面微弹簧弹性系数研究     
            吴鹏飞,张国俊,钟志亲,等(660)
基于弯曲板波的延迟线振荡器的ANSYS仿真         
              胡 晶,温志渝,陈 李,等(664)

加工、测量与设备
ULSI/GLSI低Na CMP浆料的纯化效率        
            甘小伟,刘玉岭,何彦刚,等(669)
柔性聚合物基材上三维纳米间隙的制作及互连 
          李兴辉,Selvapraba Selvarasah,
                    Chia-Ling Chen,等(674)
厚铝芯片制造工艺的光刻对准效果改善         
                                马万里(679)

《微纳电子技术》征稿                  (654)
第四届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
会议通知(第二轮)                    (683)