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【2011年】第【09】期期刊目次
 

       微纳电子技术
    月刊·1964年创刊
 第48卷第9期(总第412期)
  2011915出版
   刊名题词  白春礼
            目次
技术论坛
从多子角度阐述p-n结理论                           
      杨建红,赵飞虎,吴承龙,等(549)
器件与技术
埋层低掺杂漏SOI高压器件的击穿电压                   
         李 琦,王卫东,张 杨,等(553)
S波段大功率SiC MESFET的设计与工艺制作                     
                       付兴昌,潘宏菽(558)
材料与结构
一种新型空心镍纳米球的合成及其性能                         
                        胡永红,徐志花(562)
Ni-Mn-Ga磁控溅射靶材合金制备及性能                
   陈峰华, 张敏刚,柴跃生,等(568)
热丝法制备硅纳晶颗粒及其发光性质                      
              孙世菊,胡 亦,韩 伟(573)
MEMS与传感器
MEMS微针的最新研究进展                              
        曹玉田,朱 军,曹 莹,等(577)
微光机电加速度计的研究现状及发展                   
       冯丽爽,迟媛媛,周 震,等(583)
加工、测量与设备
基于模糊PID的光刻机同步扫描控制                     
        盛 壮,唐小萍,胡 松,等(591)
阴离子对铜化学机械抛光的影响                    
  汤丽娟, 储向峰, 董永平,等(596)
纳米台阶标准样板的制备和表征                       
      雷李华,邹子英,李 源,等(600)
纳米压印光刻胶                                     
       赵 彬,张 静,周伟民,等(606)
国际视点
技术、产品和市场                   (613)                                                                
《微纳电子技术》编辑部网站已开通(567)
《微纳电子技术》征稿(612)
2011(第四届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知(第一轮)           (615)