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【2011年】第【06】期期刊目次
 

                   微纳电子技术
                月刊·1964年创刊
          第48卷第06期(总第409期)
              2011年06月15日出版
                刊名题词  白春礼

                       目 次

技术论坛
电子束光刻技术与图形数据处理技术            
                                             陈宝钦(345)
                        
器件与技术
单模小发散角免键合激光器芯片的研制           
                  安振峰, 刘 浩, 陈宏泰, 等(353)
MOSFET栅氧泄漏隧穿电流的分析模型:量子力学研究 
Amit Chaudhry,Jatindra Nath Roy(357)

材料与结构
双层掺混结构CNT薄膜的制备及场发射性能
               商世广,赵 玲,高明琪, 等(365)
Si基稀土Er2O3薄膜材料特性及制备研究进展 
               陈长春, 刘江峰, 余本海, 等(370)

MEMS与传感器
光纤消逝场传感器传感结构的分析与应用
              罗 吉,庄须叶,倪祖高, 等(376)
三维壁面效应对微喷管性能影响的数值计算
                               童军杰,岑继文(384)
一种新的微机械陀螺品质因数测试方法       
                                徐淑静, 高振宁(391)
基于微机械圆盘谐振器的振荡器
            贾英茜,赵正平,杨拥军, 等(395)

加工、测量与设备
MEMS THz滤波器的制作工艺 
               郑英彬,施志贵,席仕伟, 等(399)
碳纳米管与外电路的连接技术进展         
                    赵 波,齐红霞,孟跃红(403)

国际视点
技术、产品和市场               (411)


《微纳电子技术》征稿         (364)
《微纳电子技术》网站已开通(410)