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【2011年】第【02】期期刊目次
 

                     微纳电子技术
                   月刊·1964年创刊
               第48卷第02期(总第405期)
                  2011年02月15日出版
                   刊名题词  白春礼

                        目 次

技术论坛
微光刻与微/纳米加工技术(续)          陈宝钦(69)
                           
器件与技术
高方块电阻发射区单晶硅太阳电池的性能优化      
                    沈 洲,沈鸿烈,马 跃, 等(74)
AlGaN/GaN HEMT器件工艺的研究进展   
                   颜 伟,韩伟华,张仁平, 等(79)
两层金属场极板高压LDMOS的优化设计            
                                 张永红,黄 瑞(87)

材料与结构
聚苯胺纳米材料的合成与应用                    
                   李 程,杨小刚,黄文君, 等(92)
大孔TiO2-ZnO复合纳米材料的制备及其光催化性能
                   刘 威,徐耀维,谭永佳, 等(98)
用于高灵敏微磁传感器的LMO膜制备与分析         
                       郭 恺,王三胜,程远超(103)
  
MEMS与传感器
宽范围可调MEMS集成滤波器的设计与制作  
                   杨 志,杨拥军,李 倩, 等(108)
基于MEMS的新型高场不对称波形离子迁移谱仪   
                  陈池来,赵 聪,王电令, 等(112)

加工、测量与设备
晶体硅太阳电池表面钝化技术
                   陈 伟,贾 锐,张希清, 等(118)
磁性液体合成装置的研制及其应用               
                   刘永坤,吴 磊,安 宏, 等(128)
基于光诱导介电泳的微粒自动化操作实验研究      
                 王淑娥,曲艳丽,董再励, 等(132)

国际视点
技术、产品和市场                            (138)


下期部分目次预告                             (73)