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【2011年】第【01】期期刊目次
 

                      WEINADIANZI JISHU
                        (原半导体情报)
                         月刊•1964年创刊
                  第48卷第1期(总第404期)
                       2011115日出版
                         刊名题词  白春礼


技术论坛
微光刻与微/纳米加工技术          陈宝钦(1


器件与技术
基于量子遗传算法的量子细胞自动机仿真方法
                                  赵晓辉,蔡 理,张 鹏(6
S波段脉冲大功率SiC MESFET  
                       杨 霏,潘宏菽,霍玉柱,等(12
基于MSC双声路SAW器件的设计仿真平台
                       文常保,巨永锋,康 迤,等(15


材料与结构
碳纳米管微电极的直流介质阻挡放电特性
                       王雨化,侯中宇,回 兵,等(21
CdSe/TiO2纳米复合材料的研究进展
                            张居正高善民宋 佳,等(26)                                             预退火气氛对BDT铁电薄膜性能的影响
                                         成传品,邓永和(37


MEMS与传感器
SU-8胶双光子微加工分辨率与工艺条件研究
                       宋 旸,董贤子,赵震声,等(40
MEMS微执行器平板运动稳定性研究
                    伍文昌,鲍景富,杜亦佳,等(46


加工、测量与设备
X射线二极管平响应滤片的制作
                       辛 将,谢常青,李志超,等(53
铁电刻蚀的研究进展
                    刘黎明,曾华荣,杨培志,等(58
电子束抗蚀剂图形结构的倒塌与粘连
                         赵 珉,陈宝钦,牛洁斌,等(63
下期部分目次预告     (5
《半导体技术》简介(45