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【2010年】第【10】期期刊目次
 

                    微纳电子技术
                  月刊·1964年创刊
               第47卷第10期(总第401期)
                 2010年10月15日出版
                  刊名题词  白春礼

                       目 次
                     专家论坛

石墨烯基电子学研究进展                  
                                  袁明文(589)
                           
纳米器件与技术

利用共振隧穿器件制作太赫兹波源     
           郭维廉, 牛萍娟, 李晓云, 等(595)

纳米材料与结构

Si衬底GaN外延材料六角形缺陷分析                
            尹甲运, 刘 波, 王晶晶, 等(603)
Bi3.5Yb0.5Ti3O12铁电薄膜的制备及性能        
           成传品, 邓永和, 戴雄英, 等(606)
HVPE法制备GaN过程中GaAs衬底的氮化     
            张 嵩, 杨瑞霞, 徐永宽, 等(610)

MEMS器件与技术

电磁MEMS在流体控制中的应用                     
            钱吉胜, 沙 莎, 陈志华, 等(615)
Si-玻璃阳极键合失效机理研究                  
                毋正伟, 陈德勇, 夏善红(620)
二维变形方波微混合器混合效果                  
                 张 芹, 游炜臻, 林耿锐(625)
一种基于BCB键合技术的新型MEMS圆片级封装工艺   
                                  何洪涛(630)

显微、测量、微细加工技术与设备

干涉空间相位光刻对准方法研究                   
             马 平, 胡 松, 周绍林, 等(635)
锥形光纤与楔形光纤的耦合                    
                                  杨修文(639)
pH值调节剂对Si片CMP速率的影响             
           杨金波, 刘玉岭, 刘效岩, 等(644)

微电子器件与技术

半导体工艺线CAM及SPC的应用             
           李保第, 刘福庆, 李彦伟, 等(648)

欢迎订阅2011年《材料导报》(半月刊)    (594)
第三届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
会议通知(第三轮)                      (609)
下期部分目次预告                        (647)