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【2010年】第【03】期期刊目次
 

               WEINADIANZI JISHU
                (原半导体情报)
                月刊•1964年创刊
            第47卷第3期(总第394期)
               2010年3月15日出版
                刊名题词 白春礼

专家论坛

可调谐微机电电感          方东明,张海霞(129)  

纳米器件与技术纳米分子器件的研究                                                        张耀中,张亚非(136)
激光器阵列波谱合成模拟中的误差分析       
                  尹世忠,苏明敏,王晓燕(142)

纳米材料与结构

Nb掺杂TiO2纳米管的制备及其氢敏特性     
                白硕,丁冬雁,宁聪琴,等(147)
形貌对LiFePO4性能影响的研究进展      
              白立朋,李秋红,陈立宝,等(152)

MEMS器件与技术
4H-SiC肖特基微型同位素电池             
                高鹏,李晓莹,乔大勇,等(157)
黏性耗散对微喷管性能的影响            
                  童军杰,徐进良,岑继文(163)

MEMS毫米波滤波器的设计与制作                                                          李倩,杨志,胡小东(170)

显微、测量、微细加工技术与设备
3 333 l/mm软X射线全镂空自支撑透射光栅的制备与测试                            李海亮,马杰,朱效立,等(174)
新型高抗粘紫外纳米压印光刻胶的工艺研究  
                李中杰,林宏,姜学松,等(179)
有限元在金属微结构电铸特性分析中的应用     
                    郑晓虎,刘远伟,顾锋(183)
硅油稀释PDMS法制备紫外纳米压印软模板                                                     李海鑫,黄其煜(188)