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【2010年】第【02】期期刊目次
 

微纳电子技术
月刊•1964年创刊
第47卷第2期(总第393期)
2010年2月15日出版
刊名题词  白春礼

目 次

专家论坛

65超临界二氧化碳(SCCO2)无损伤清洗
王 磊,惠 瑜,高超群,等
                           
纳米器件与技术

72高效率大功率连续半导体激光器
杨红伟,黄 科,陈宏泰,等

76一种新型4H‐SiC BJT结终端结构研究
刘曦麟, 张 波, 张有润,等

纳米材料与结构

80一维纳米材料定向排布技术的研究进展
胡 林, 陈长鑫, 张亚非

85 670 nm发光二极管材料的MOCVD外延生长
刘英斌, 林 琳, 陈宏泰,等

89 HVPE法生长AlN薄膜材料
徐永宽,李 强,程红娟,等

MEMS器件与技术

93 Si/TiNi双层结构SMA电热驱动器的仿真和制造
王亚攀,吴义伯,张小波,等

99电容式RF MEMS谐振器
贾英茜,赵正平,杨拥军,等

105新型聚酰亚胺图形化工艺制备视网膜电极
徐 旻,陈 迪,周 然,等

显微、测量、微细加工技术与设备

110多层Cu布线化学机械抛光后颗粒的去除问题
武彩霞, 刘玉岭, 牛新环,等

115电子散射参数提取的新方法                  
赵 珉,陈宝钦, 谢常青,等

121阵列位相环匀光器                                  
万青松,谢常青,贾 佳,等

国 际 视 点(125)
技术、产品和市场