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【2017年】第【02】期期刊目次
 

WEINADIANZI JISHU

(原半导体情报)

月刊·1964年创刊

54卷第2期(总第477期)

2017215日出版

刊名题词  白春礼


技术论坛

微系统三维集成技术的新发展(续)

赵正平(73)


器件与技术

4H-SiC和6H-SiC功率VDMOSFET的单粒子烧毁效应

刘忠永,蔡 理,刘小强,等(80)


材料与结构

氧化锡纳米球的合成及其对氢气的气敏特性

王 莹,杨 洁,王 秀,等(86)

快速退火处理Au催化剂对β-Ga2O3纳米线阵列的影响

曹轶森, 邓金祥, 崔 敏,等(91)


MEMS与传感器

LC温度传感器的高温性能优化与设计

唐 顺,谭秋林,王海星,等(96)

WO3与CH3NH3PbI3钙钛矿制备的敏感器件特性

金慧娇,李 彦,曾 艳,等(101)


加工、测量与设备

反应扩散刻蚀制备太阳电池表面陷光结构

赵周星,王庆康,刘代明(107)

基于MIMU测量系统的两步校准法

刘志文,张晓明,马喜宏(113)

GLSI铜布线碱性抛光液中磨料的稳定性

赵亚东,刘玉岭,栾晓东,等(120)

4H-SiC常温Al离子注入技术

王冬雨,林文魁,曾春红,等(125)

基于4H-SiC压敏电阻的同质外延工艺

孙亚楠,石云波,冯恒振,等(131)

硅基锗薄膜的选择性外延生长

吴细鹏,王桂磊,李志华,等(136)

 

中国电子科技集团公司第十三研究所激光器产品推介(141)

第12届国际专用集成电路会议(征稿通知)(142)

第十届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知(第一轮)(144)