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【2017年】第【01】期期刊目次
 

WEINADIANZI JISHU

(原半导体情报)

月刊·1964年创刊

54 1期(总第476期)

2017115日出版

刊名题词  白春礼

 

技术论坛

微系统三维集成技术的新发展

赵正平(1

 

器件与技术

微结构对单根Ni/NiO核壳纳米线器件阻变性能的影响

刘 圆,相文峰,张家奇,等(11

 

材料与结构

球形TiO2-ZnO复合纳米颗粒的合成、表征及光催化性能

谢 娟,刘 柳,熊 成(16

MBE制备GaN纳米柱阵列的光学特性

冉宏霞,王 硕,范 滔,等(21

 

MEMS与传感器

基于声表面波驱动器的液体单方向驱动

黄 远,李以贵,颜 平,等(26)

微型超级电容器的电化学阻抗谱分析

吕晓静,朱 平(31)

 

加工、测量与设备

GaAs基多结太阳电池TiO2/Al2O3/SiO2减反射膜的设计与制备

付 蕊,陈诺夫,白一鸣,等(38)

室温纳米压印制备中的共性关键工艺问题

朱振东,施玉书,李 伟,等 (43)

超精度石英玻璃的化学机械抛光

王仲杰,王胜利,王辰伟,等(48)

湿度对离子迁移谱性能影响的数值模拟

韩丰磊,张 荷,酒江波,等(53

不同粒径硅溶胶磨料对Cu CMP的综合影响

闫辰奇,刘玉岭,张 金,等(58

不同pH值下过氧化氢对RuCMP的影响

郑 环,周建伟,刘玉岭,等(65

 

12届国际专用集成电路会议(征稿通知)(71

全国半导体设备和材料标准化技术委员会第六届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会2016年会在重庆召开(72