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【2016年】第【09】期期刊目次
 

 

 

WEINADIANZI JISHU

(原半导体情报)

月刊·1964年创刊

53卷第9期(总第472期)

2016915日出版

刊名题词  白春礼

器件与技术

超薄埋氧层FDSOI器件制备及其性能测试

谭思昊,李昱东,徐烨峰,565

材料与结构

MPCVD生长半导体金刚石材料的研究现状

付方彬,金 鹏,刘雅丽,等571

单晶硅微结构表面的制备及其减反射性能

方俊飞,杨金峰(582

MEMS与传感器

SnO2CO传感器敏感膜的电阻变化机理

磊,殷晨波,张子立,等588

微流控芯片上光纤激光对细胞的作用机理

围,郭 兴,张 旭,等594

加工、测量与设备

硅基微光学平台的设计和制作

柳瑞丛,刘媛媛, 雪,等599

原子层沉积生长电学性质可调ZnO薄膜工艺

张思敏,程 嵩,卢维尔,等605

碳辅助法制备Mn3O4纳米颗粒

杜建功,海振银,李艳芳,610

硅基超疏水跨尺度微纳结构的制备

阳,邹传平,张德勤,等(616

用于最新技术节点GeSiGeCMP技术研究进展

潘柏臣,张保国,赵 帅,等623

旋转工艺对高阻区熔硅单晶研制的影响

庞炳远,闫 萍,刘 洪(630

第十三届固态和集成电路技术国际会议(第一次征文通知)634

第十届中国半导体行业协会半导体分立器件分会年会(CSDD)、第九届中国微纳电子技术交流与学术研讨会成功召开636