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【2016年】第【05】期期刊目次
 

WEINADIANZI JISHU

(原半导体情报)

月刊·1964年创刊

  第53卷第5期(总第468期)

        2016515日出版       

刊名题词  白春礼

 

器件与技术

一种超小型7~8.5 GHz GaAs多功能芯片

谢媛媛,赵子润,刘文杰,等(281)

 

材料与结构

氧空位诱发Zn1-xNixO薄膜的室温铁磁性

赵瑞斌,范素军,乔丽华,等(287)

GaAs隧道结中掺杂浓度对峰值隧道电流的影响

张 曦,韩 颖,杨建业,等(292) 

 

MEMS与传感器

微扩锯齿状微通道介电泳多目标分离及优化

曾汉春,胡延东(297)

基于振荡匀强磁场驱动的磁力微机器人

 郑 亮,黄海波,李相鹏(304)

可刚性固定MEMS矢量水听器的设计

王续博,张国军,郭  楠,等(310)

 

加工、测量与设备

基于MEMS技术的宏孔导电网络工艺

梁 赪,吴大军,王连卫(316)

PSS侧壁弧度优化及对GaN基LED出光效率的影响

付星星,刘 扬,张国义(321)

GLSI阻挡层钌化学机械抛光去除速率的控制

栾晓东,刘玉岭, 王辰伟,等(326)

PDMS软模板制备与叶片曲表面软光刻工艺

高均超,段 力,王 英,等(333)

基于一种新沟槽设计的无缝隙沟槽隔离技术

李光涛,田 铭,周思渊,等(340)

氩稀释无氨氮化硅薄膜的制备

赵 润,高鹏飞,刘 浩,等(345)

                                                                 

第十三届固态和集成电路技术国际会议(第一次征文通知)(351)

第九届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知(第一轮)(352)