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【2015年】第【12】期期刊目次
 

WEINADIANZI JISHU

(原半导体情报)

月刊·1964年创刊

52卷(卷终)第12期(总第463期)

20151215日出版

刊名题词  白春礼


器件与技术

纳米尺度相变存储器小型化研究进展

周亚玲,付英春,王晓峰,等(749)


材料与结构

Zn:NiO纳米线的制备及其光催化活性

赵重阳,相文峰,张家奇,等(757)

ICPECVD法低温制备氧化硅薄膜的致密性

刘雨涛,梁  庭,张  瑞,等(761)


MEMS与传感器

宽响应范围的MEMS热电偶真空度传感器

雷  程,毛海央,欧  文,等(765)

用于Lamé模态方块谐振器的压控电流源模型

梁  冰,宋亚梅,鲍景富,等(770)

二自由度双稳态振动能量采集器输出性能分析

何  青,毛新华,褚东亮(779)


加工、测量与设备

基于准分子激光的X光掩膜板与压电陶瓷加工

李以贵,颜  平,黄  远,等(786)

螯合剂在TSV CMP中对铜膜抛光效果的影响

洪  姣,刘玉岭,牛新环,等(791)

硅基磁性纳米SiO2微球的制备与表征

叶  子,林文章,李  凡,等(795)

基于硅基图形衬底的III-V族材料异质生长

吕奇峰,洪文婷,马刘红,等(800)

碱性清洗液中pH值对苯并三氮唑去除效果的影响

顾张冰,刘玉岭,高宝红,等(811)

 

第十三届固态和集成电路技术国际会议

(第一次征文通知)(815)