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【2015年】第【11】期期刊目次
 

WEINADIANZI JISHU

(原半导体情报)

月刊·1964年创刊

52卷第11期(总第462期)

20151115日出版

刊名题词  白春礼


技术论坛

基于碳纳米管冷阴极X射线管电子源研究进展

赵 江,谌 静,王德波(681)

 

器件与技术

TiO2纳米线胶光散射层的染料敏化太阳电池性能

温 耐,李龙威(688)

 

材料与结构

石墨烯掺杂研究进展

胡荣炎,贾昆鹏,陈 阳,等(692)

ZnO纳米线的制备及其气敏特性

位子涵,孙永娇,胡 杰(701)

 

MEMS与传感器

基于微细加工技术的高精度荧光检测生物芯片

李以贵,黄 远,颜 平,等(707)

低频响应MEMS压电式微型振动发电机

安 坤,陈东红,刘 立,等(713)

基于光镊原理的光纤激光驱动细胞方法

程景萌,周 围,杨 丽,等(718)

 

加工、测量与设备

基于粘滑原理纳米定位平台的设计和分析

潘 鹏,孙伏俊,杨飞雨,等(722)

碳化硅直接键合及其界面微观结构分析

王心心, 梁 庭, 贾平岗,等(729)

磨料粒径对多层Cu布线CMP的影响

武 鹏,周建伟,何彦刚,等(733)

氧化剂在TSV铜膜CMP中钝化机理

张 燕,刘玉岭,王辰伟,等(737)

Ni纳米线的化学还原法可控制备

张家奇,刘春萌,刘 圆,等(741)                                                              

第11届国际专用集成电路会议第一次征稿通知 (747)