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【2015年】第【05】期期刊目次
 

微纳电子技术

(原半导体情报)

月刊·1964年创刊

52卷第5期(总第456期)

2015515日出版

刊名题词  白春礼


器件与技术

808 nm大功率激光二极管随机失效分析

杨红伟,彭海涛(273

 

材料与结构

矩阵磁场作用下磁性液体薄膜的微形变

刘同冈,费 菲,郭 岩,等(278

用于3 mm器件的GaAs PHEMT外延材料

卜夏正,武一宾,商耀辉,等(283

 

MEMS与传感器

新型微流体惯性开关的结构设计及仿真

李凌麟,聂伟荣,席占稳,等(289

一种新型压力传感器结构制备工艺

何洪涛,杜少博,王伟忠(294

基于硅MEMS腔体技术的微波带通滤波器

陈 熙李 丰,马文涛,等299

 

加工、测量与设备

基于AFM探针的PZT标定和纳米尺度操控

王智宇,董再励,王 栋,等(304

微流控芯片上水中油滴及其体积分数测量技术

吴章嘉琛孙润哲潘新祥,等310

基于液滴稳态面形计算的微小透镜制作技术

简伟明,王 翔(318

基于外部激活表面高温状态下的硅-硅键合

王亚彬,王晓光郑 丽325)

PDMS仿生疏水表面的制备

曹合适,张斌珍,赵 龙329

CMP中碱性抛光液组分间化学作用及其影响

贾英茜,牛新环,王现彬334

 

 

第八届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知338

第11届国际专用集成电路会议第一次征稿通知339