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【2015年】第【04】期期刊目次
 

微纳电子技术

(原半导体情报)

月刊·1964年创刊

52卷第4期(总第455期)

2015415日出版

刊名题词  白春礼     

器件与技术

大功率光纤耦合模块光学系统

袁春生,刘洋洋, 房玉锁,205

高功率半导体开关器件DSRD的研究进展

吴佳霖,刘英坤(211

材料与结构

利用光学微腔提高石墨烯的光吸收效率

郑文浩,龙拥兵,王启汶,等(216) 

热注射法合成CuxS及光降解亚基蓝溶液

赵卿飞,张 华(221 

MEMS与传感器

静电驱动柔性振膜的吸合特性研究

张 彧,王 文,赵小林,等(226

一种新型MEMS压阻式SiC高温压力传感器

何洪涛,王伟忠,杜少博,等233

加工、测量与设备

面向可控自组装的DNA纳米管可编程AFM操作

李龙海刘连庆董再励240  

高效率X射线光刻在单级光栅研制中的应用

施百龄,董连和,朱效立246

微流控芯片上电晕放电式大气颗粒物检测方法

周 航,刘嘉夫,宋永欣251

基于紫外厚胶的探针加工工艺

王 伟,张斌珍,贾志浩256

RF偏置功率对磁控溅射AlN薄膜性能的影响

李明月,霍彩红,韩 东261

TSV立体集成用Cu/Sn键合工艺

张 巍,单光宝,杜欣荣266


第八届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知270

11届国际专用集成电路会议第一次征稿通知271