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【2015年】第【02】期期刊目次
 

WEINADIANZI JISHU 
(原半导体情报)
月刊·1964年创刊 
第52卷第2期(总第453期)
2015年2月15日出版 
刊名题词  白春礼 

技术论坛 
典型MEMS和可穿戴传感技术的新发展(续)
赵正平(69)
  
器件与技术 
一种高压4H-SiC二极管改进场限环结终端结构
查祎英,田 亮,杨 霏(75)
太赫兹量子级联激光器注入区结构研究
王 健,牛晨亮,王建峰,等(80)

材料与结构 
用于增强薄膜电池抗反射的微半球孔阵列研究
李新鹏,王庆康,李海华(85) 
硅基微结构上的聚吡咯功能薄膜均匀性研究
朱 平,蔡 婷,任 重,等(89) 
退火温度对ZnO薄膜结晶和折射率的影响
庞天奇,邓金祥,王吉有,等(93)
Si基Er2O3薄膜初始生长的原位RHEED和AES研究
苑军军,仇庆林,朱燕艳(98) 

MEMS与传感器 
MEMS压电-磁电复合式振动能量采集器
杨  杰,许  卓,安  坤,等(103) 
低阻尼MEMS加速度传感器频率特性快捷测试法
张旭辉,徐爱东,卞玉民(108) 

加工、测量与设备 
原子层沉积技术制备金属材料的进展与挑战 
 朱 琳,李爱东(113)
金刚石颗粒与硅基底的超声焊接及场发射性能
刘 畅,苏言杰,王 楠,等(123) 
抛光压力对PS/CeO2纳米复合磨粒抛光性能的影响
汪亚运,陈 杨,赵晓兵,等(129) 

中国电科十三所当选中国半导体行业协会MEMS分会理事长单位(135) 
微光刻领域的标准化及学术交流(136)