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【2014年】第【06】期期刊目次
 

 WEINADIANZI JISHU

(原半导体情报)

月刊·1964年创刊

51卷第6期(总第445期)

2014615日出版

刊名题词  白春礼

器件与技术

硅基III-V族纳米线晶体管

洪文婷,韩伟华,王 345

基于环形谐振腔的双波长半导体激光器的研制

齐利芳,李献杰,赵永林355

材料与结构

背势垒对InAlN/GaN异质结构中二维电子气的影响

甘天胜,李 毅,刘 斌,等(359) 

静电纺丝技术制备三维纳米结构研究进展

韩维华,麻 劼,常 清,等(366) 

MEMS与传感器

氮化铝面内伸缩模态谐振器的研究现状

杨 健,韩国威,司朝伟374

加工、测量与设备

高线密度X射线双光栅的研制

何 宽,易 涛,刘慎业381

TMAH+Triton中的Si湿法腐蚀机理研究现状

姚明秋,苏 伟,唐 彬,386  

碱性阻挡层抛光液各成分对CMP的影响

刘桂林,刘玉岭,王辰伟,394

不同磨料质量分数对化学机械平坦化的影响

刘伟娟刘玉岭王辰伟399

碱性铜抛光液在CMP工艺中的性能评估

袁浩博,刘玉岭,蒋勐婷404

 

第十二届固态和集成电路技术国际会议(第一次征文通知)(409

杂志合作代理变更声明(410

第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知(第二轮)(411